其他人也都是一脸的震撼和难以置信。

他们原本以为许志远要么是拿假芯片糊弄人，要么是搞了个简陋的设备来蒙混过关，可眼前的这台设备，不管是从外观还是结构上看，都是完美无缺的光刻机——一台能够真正实现芯片制造的光刻机！

赵部长站在许志远身旁，虽然事先已经有了心理准备，但此刻看到这台光刻机时，依然忍不住心潮澎湃。

手微微发抖，眼眶泛红，声音里带着激动的颤抖：“志远，这就是……这就是光刻机？”

许志远点了点头，目光平静，却透着一股令人感到震撼的自信：

“没错，这是第一代光刻机。虽然制程是5微米，但它的每一个零件、每一项技术，都是我们自主研发的。它是咱们国家真正意义上的第一台光刻机。”

为了让所有人彻底信服，许志远走到光刻机旁，打开了控制台，熟练地敲击着键盘。

“接下来，我会重新演示一遍芯片的制造过程。”他的语气平静，却字字掷地有声，“让你们亲眼看看，这台光刻机是不是假的。”

张国辉听到这话，脸色骤变，呼吸都变得急促起来。他下意识地喊了一声：“许志远，你——”

可许志远根本没理他，已经按下了启动按钮。

机器瞬间运转起来，发出低沉而均匀的嗡鸣声，仿佛一头沉睡已久的巨兽终于觉醒。

深紫外光源系统开始工作，一束高强度的激光从光源口射出，通过一系列复杂的光学模块，被精准地投射到掩模版上。

“投影精度：0.8微米，符合设计标准。”

“步进扫描平台启动中……定位误差：0.05微米。”

“硅片曝光完成，进入显影阶段。”

系统的提示音冷静而自信，数据一项项显示在屏幕上，每一项都完美无缺。那台光刻机运转时的机械美感，甚至让人有种无法移开目光的震撼。

张国辉的脸色由青转白，再由白转灰。他的额头渗出了冷汗，手指紧紧抓住身旁的椅背，指节发白，像是随时都要摔倒一样。

李昌林的腿已经开始发软，他死死盯着屏幕上的数据，眼神中充满了不可置信。