叶云州点点头，转向星耀微电子装备厂的负责人刘世元道：“刘博士，你们光刻机团队要努力了，我得到消息，ASML也在研究EUV光刻机，我希望你们能在它们前面研究出来，你们需要任何资源公司都会给到你们，要钱，公司给你们拨款，要人才公司给你们去挖人......我只要结果。”

刘世元微微皱眉，光刻机的制造考验的可是一个国家的基础工业能力的。

虽然有叶云州给他们的光刻机的技术图纸，但他也不敢打包票在ASML公司之前搞出EUV光刻机，因为ASML公司的背后是整个美西方的工业支持，包括日本这样的国家。

而他们星耀微电子只能依靠夏国内陆的基础工业能力，连湾湾和香江都依靠不了。

比如光源系统，全世界只有德国蔡司公司可以提供。

EUV光刻机需要产生波长为13.5nm的极紫外光，主要通过高功率的二氧化碳激光器轰击锡液滴来产生等离子体，从而获得极紫外光。

这个过程需要精确控制激光的功率、频率和脉冲，以及锡液滴的大小、速度和喷射频率等参数，技术难度极高。

为了保证光刻的精度和质量，光源的能量稳定性要求非常高。

极紫外光的功率波动必须控制在极小的范围内，任何微小的波动都可能导致光刻图案的偏差，影响芯片的性能和良品率。

EUV光刻机的光学系统主要采用反射式光学元件，因为极紫外光在大多数物质中吸收严重，很难像传统光刻那样使用透镜。

这些反射镜需要具备极高的表面平整度和粗糙度要求，其表面形状误差要控制在原子级别的精度，例如，反射镜的表面平整度偏差要小于0.1nm，这对制造工艺和材料的要求几乎是苛刻的。

这种高精度的光学镜头全球只有德国的蔡司公司能制造。

即使号称高精尖大国的日本，都没有一家公司能制造出这种光学镜头，可想而知其难度。

“董事长，我们一定全力以赴，不让董事长失望。”刘世元虽然心里没底，但还是郑重的表态。

叶云州点点头，他暂时给光刻机制造团队的预算是100亿RMB，不够再追加，他就是想用钱砸出一条光刻机的产业链来，避免以后被美西方卡脖子。

他的目标是星耀公司以后所有产品的核心零部件全部自给自足，非核心零部件全球采购。

“张天明，你继续说。”叶云州转向张天明。

张天明点点头，继续说道：“除了芯片之外就是屏幕了。”

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“按照董事长的设计，咱们的XPhone1要配备3.5英寸的 TFT 多点触控触摸屏，分辨率要达到320×480。”

“目前，这种电容屏生产技术只被少数厂商掌握，良品率低，难以满足大规模生产对高质量屏幕的需求，需要等到我们林城的面板工厂建成投产后才能大规模生产。”